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              如何有效的降低真空系統漏氣率?

              發布日期:2019-03-30 作者:admin 點擊:

              真空系統的結構:


              真空系統的結構是影響真空系統密封性和系統漏氣率的關鍵葡京彩票最新网址,真空系統的結構合理與否,將直接影響系統的密封性和系統的漏氣率葡京彩票最新网址。

              1、盡可能地避免出現小曲率半徑的死角,要光滑過渡查剎于打麈拋光、清洗清掃。

              2葡京彩票最新网址、抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道,采用圓弧過渡葡京彩票最新网址,使氣路暢通無阻,但要考慮清洗清掃的方便性。

              3、認真設計真空室內各種連接件的結構葡京彩票最新网址,使氣路暢通葡京彩票最新网址,避免氣路堵塞。

              4、打磨拋光真空系統內表面,表面越光亮就越不易氣體吸附,越容易獲得真空。

              5葡京彩票最新网址葡京彩票最新网址、盡可能減小真空室的體積葡京彩票最新网址,縮短管路系統。

              真空系統

              密封形式的選擇:

              密封形式可根據所需真空度的高低及實際工作需要選擇密封形式葡京彩票最新网址,對于人工晶體生長設備葡京彩票最新网址葡京彩票最新网址,一般需要的真空度在lO-3Pa以下,因此,無需采用金屬密封。以TDR--70型單晶爐為例葡京彩票最新网址,我們選擇磁性流體密封作為旋轉動密封,選擇高精度大伸縮量的焊接波紋管進行移動密封葡京彩票最新网址,小直徑軸的旋轉密封選用“O”型密封圈或威爾遜密封,各種靜密封則采用“0”型密封圈密封形式,直徑壓縮比為25%。


              密封件材質的選用:真空度在lO-3Pa以下的真空系統葡京彩票最新网址,密封材料一般選擇橡膠密封圈即可滿足要求。但是葡京彩票最新网址葡京彩票最新网址,考慮到實際工作條件的需要(真空室內溫度可達2300oC,密封部位進行水冷后,其溫度在80oC左右葡京彩票最新网址,個別處溫度可達100oC以上)。所以,要選擇比較理想的密封圈材料。


              用于真空密封橡膠材料,除要求具有光潔表面、無劃傷、無裂紋外,還要求有低的滲透率和出氣率,良好的耐熱性耐油性葡京彩票最新网址,同時要有一定的強度葡京彩票最新网址、硬度和彈性等葡京彩票最新网址。


              本文網址:http://www.shslsolar.com/news/450.html

              相關標簽:真空系統,真空泵,真空機組

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